Nghiên cứu chế tạo và khảo sát đặc trưng của vi thấu kính trên cơ sở màng micro-nano SU-8 ứng dụng trong hệ thống quang MEMS/NEMS
| Title: | Nghiên cứu chế tạo và khảo sát đặc trưng của vi thấu kính trên cơ sở màng micro-nano SU-8 ứng dụng trong hệ thống quang MEMS/NEMS |
| Authors: | Bùi, Đình Tú, Người hướng dẫn Nguyễn, Thi ̣Minh Hằng, Người hướng dẫn Cao, Việt Anh |
| Keywords: | Vật liệu và linh kiện nano;Vi thấu kính trên cơ sở màng micro-nano SU-8;Hệ thống quang MEMS/NEMS |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | H. : Trường Đại học Công nghệ |
| Description: | 56 tr. |
| URI: | http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/54281 |
| Appears in Collections: | UET - Master Theses |
Nhận xét
Đăng nhận xét